序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 真空管路设备 | Foreline 13套,Pump parts 171套 | 1)真空管路装置适用于G6 OLED Array CVD,Array IMP,Array DET,TPOT CVD,TPOT DET,TFE CVD 设备及其配套干泵设备; 2)真空管路材质:SUS304 BA以上,管径大于6"时使用SCH10S ,小于4"时使用 SCH5S; 3)安全:必须符合高压气体安全标准和相关国家法规。 | 0730-254010020003-76 |
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